Сейчас иммерсионные установки для литографии производят всего две фирмы, голландская ASML и японская Nikon. ASML сотрудничает с тайванем (TSMC), а Nikon с США (Intel).

Как вы можете увидеть лидерство в производстве фотолитографов принадлежит совсем не США.

Лидерство США находится в другой области и именно в этой области они виноваты в провале плана перехода мира на новые 450 мм пластины. Американская компания Applied materials занимает большую часть мирового рынка производства оборудования для напыления материалов на пластины.

Чтобы произвести транзисторы нужно:

1. Уметь производить подложки.

2. Уметь напылять различные материалы на эти подложки.

3. Уметь экспонировать рисунок на этих подложках.

4. Остальные операции не столь технологически сложные как первые три.

В первой области среди широко применяемых кремниевых пластин сейчас лидер Китай.

В третьей ASML — Голландия.

Во второй США! Именно компания Applied Materials производит самый широкий набор оборудования для атомарного послойного осаждения материалов, химического осаждения из паровой фазы (CVD) и физического осаждения из паровой фазы (PVD). Оборудование этой фирмы используются на всех известных мировых фабриках микроэлектроники. Обычно оно размером с офисный стол и стоит 5-60 миллионов долларов. Представьте сколько такого оборудования находится на тысячах квадратных метров чистых комнат.

Самое поразительное, что эта фирма в связи с производственной необходимостью имеет доступ к технологиям всех производителей микроэлектроники где используется их оборудование. И к Intel, и к Samsung, и к TSMC. Они знают как делают процессоры Intel и AMD. По этому США обладает чужими знаниями, которыми могут в случае чего воспользоваться. А может быть даже и используют в свою пользу на мировом рынке.

Для создания TFT-LCD матриц нужны большие стеклянные панели размером где-то три на полтора метра, на которые необходимо напылять тонкие слои материалов. Представьте размер вакуумных установок необходимых для этой процедуры. И ведь их покупают производители ЖК матриц в Азии.

Начинала свой захват рынка фирма с создания установок для нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и детали машин. Инструмент и детали машин с новыми характеристиками позволяют увеличить производительность в два раза.

А основа бурного роста этой компании произошла от необходимости производства солнечных батарей для космоса. Международная программа развития альтернативной энергетики лоббируется именно США, так как для реализации этой программы понадобится покупка их аппаратов. По этому в одном из интервью один из наших учёных обмолвился тем, что США пошли по пути солнечной энергетики и добились больших успехов в микроэлектронике. Это благодаря изучению технологий нанесения покрытий. А СССР пошёл по пути развития атомной энергетики. Но после Чернобыля в мире появилось много экологов, которые требовали закручивать гайки в атомной отрасли. Тем самым, тогда мы себе закрыли на 10 лет развитие этого перспективного рынка. А могли бы уже сейчас быть мировым лидером по поставляемой миру энергии. И на полученные деньги не знали бы катастрофы 90-ых.

Нанесение покрытий это не только микроэлектроника. Это и создание износостойких деталей, которые применяются в реактивных турбинах. По этому США добились успеха в производстве турбин.

Но мир не стоит на месте. У Applied Materials появились конкуренты. И Европа и Азия стали делать свои установки нанесения покрытий, создания и тестирования фотошаблонов. По этому, когда против России ввели санкции и отказали в поставке оборудования на строящийся завод Крокус-наноэлектроника нам пришлось запросить аналогичное оборудование в Китае. А они уже сделали свои аналоги.

В Нашей стране широко исследовалась технологии PVD (физическое осаздение из паровой фазы), но не применялись в промышленности из-за отсутствия заказов с её стороны. Только недавно положение стало изменятся. В основном благодаря Роснано.

А вот установки атомарно-послойного осаждения слоёв у нас исследовались мало, в том числе установки CVD (химического осаждения из паровой фазы). Applied Materials как раз имеет преимущество в последней технологии.

Недавно Рогозин заявил, что ОПК будет использовать все необходимые технологии для достижения паритета в технологиях нанесения тонких слоёв материалов. Посмотрим, чего ожидать. По крайней мере фирма Плакарт широко распространяется по России. Если они будут использовать установки PVD отечественного производства, тогда нам стоит ждать долгожданного развития в отрасли нанесения тонких плёнок.