И вот что я сейчас подумал, а чего это мы спорим о способах? Спор у нас иной и звучит так:

Статья пытается убедить меня, что сканер - это принтер?

Т.е. мы оба уже доказали, что вы дебил и школьник. Просто я целенаправлено, а вы по глупости. СТМ-литография основанная на электромагнитных пучках существует, все остальные типы (кроме одновременного экспонирования) не отвергают сканирование, а наоборот его доказывают, по вашим же ссылкам. И т.д. В общем обосрался - признай. Сам себя причем обосрал. И да, сообщения изменять - моветон, так делают только обосравшиеся. У меня же вся переписка в почтовом клиенте, могу и показать мухлеж, да он и виден невооруженным глазом. И правильно, свет - это экспонирование, электромагнитный же пучок (поток электронов) действительно позволяет уменьшить тех процесс до 1 нм. Поэтому тут вновь мы приходим к зонд-литографии, т.к. другие методы не позволяют настолько усилить поток, фотолитография умрет, пройдет еще лет 20 и все, останется только зонд-литография.